低溫等離子是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基本內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染分子在及短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應達到降解污染物的目的。

適用范圍：
    適用于噴漆、橡膠制品，印刷等行業中，它們在生產過程中所產生的苯、甲苯、二甲苯和醚類等有害氣體。